Monolithic packaging and transduction approaches for CMOS-MEMS resonators 

Marigó Ferrer, Eloi (Date of defense: 2012-12-20)

El gran increment en el rendiment dels MEMS i la seva aplicació a multitud de camps ha motivat la seva recerca i desenvolupament. Des de la primera demostració d’un MEMS, moltes aplicacions han sorgit, essent el camp dels ...