Monolithic CMOS-MEMS resonant beams for ultrasensitive mass detection 

Verd Martorell, Jaume (Date of defense: 2008-04-18)

Estructures ressonants en forma de biga (p.e. ponts o palanques) són molt interessants com a element transductor en sensors físics, químics i biològics basats en sistemes micro-/nanoelectromecànics (M-/NEMS) degut a la ...