Integration of Nanomechanical Sensors on CMOS by Nanopatterning Methods 

Arcamone, Julien (Data de defensa: 2007-07-23)

La presente tesis ha sido realizada principalmente en el Centro Nacional de Microelectrónica de Barcelona (CNM-IMB) del CSIC, y en parte también en el Instituto de Nanotecnología de Lyon (Francia) del CNRS. El Dr Francesc ...