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    NEMS/MEMS integration in submicron CMOS Technologies 

    Muñoz Gamarra, Jose Luis (Data de defensa: 2014-12-05)

    La reducción de los dispositivos MEMS hasta la nano escala (NEMS) ha permitido el acceso a nuevos dominios de la física y promete revolucionar las aplicaciones de sensado. Sin embargo esta miniaturización ha sido conseguida ...