Micro and Nano-electro-mechanical devices in the CMOS back end and their applications 

    Riverola Borreguero, Martín (Date of defense: 2017-12-04)

    Recentment, l'escalat de la tecnologia complementaria metall-òxid-semiconductor (CMOS) està arribant a límits fonamentals, principalment degut a les fuites de corrent no nul·les que el transistor presenta. És per això que ...