Universitat Rovira i Virgili
Correig i Blanchar, Xavier
Vallejos Vargas, Stella
2011-11-15
T-1803-2011
191 p.
Universitat Rovira i Virgili. Departament d'Enginyeria Electrònica, Elèctrica i Automàtica
En esta tesis doctoral, se ha investigado y desarrollado un nuevo método de CVD asistido por aerosol (AACVD), que permite el crecimiento de nanoestructuras de WO3 intrínsecas y funcionalizadas con Au. Así mismo se han depositado capas policristalinas de SnO2 para aplicaciones de detección de gases. La síntesis de materiales nanoestructurados, la fabricación de dispositivos y sus propiedades de detección de gases, han sido estudiadas. El método AACVD fue utilizado para la síntesis y la deposición directa de capas activas encima de sustratos de alúmina y también sobre substratos micromecanizados (microhotplates), lo que demuestra la compatibilidad entre la tecnología de silicio y la deposición de la capas activas nanoestructuradas. En la tesis se ha demostrado que las capas nanoestructuradas de WO3 funcionalizadas con oro tienen una sensibilidad mejor que las intrínsecas frente a algunos gases relevantes y al mismo tiempo se ha producido un cambio de selectividad.
In this doctoral thesis, it has been investigated and developed the Aerosol Assisted Chemical Vapour Deposition (AACVD) method for direct in-situ growth of intrinsic and Au-functionalised nanostructured WO3, as well as SnO2-based devices for gas sensing applications. The nanostructured material synthesis, device fabrication and their gas sensing properties have been studied. AACVD method was used for synthesis and direct deposition of sensing films onto classical alumina and microhotplate gas sensor substrates, demonstrating the compatibility between the microhotplate fabrication process and the sensing nanostructured layer deposition. The effect of Au nanoparticles on the gas sensor’s response was measured and presented in this thesis. The test results revealed that the addition of Au nanoparticles to the WO3 nanoneedles has increased the sensor’s response towards the tested gases (i.e. EtOH). It was therefore demonstrated that the Au-functionalisation has an enhancing effect on the gas sensing properties of WO3 nanoneedles
Gas sensor; Nanoneedle; Tungsten oxide; CVD
542 - Practical laboratory chemistry. Preparative and experimental chemistry; 62 - Engineering
ADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al servei TDX. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs.
