Universitat Rovira i Virgili
Pallarés Marzal, Josep
Vetter, Michael
2006-10-26
Universitat Rovira i Virgili. Departament d'Enginyeria Electrònica, Elèctrica i Automàtica
En este trabajo se ha fabricado un equipo de medida que combina la alta temperatura con transmisión óptica, utilizando el espectro de emisión de un LED comercial de bajo coste de adquisición.<br/>A partir de las medidas de transmisión óptica se ha obtenido el coeficiente de absorción y a través de este conocer la temperatura del substrato de c-Si:<br/>Así como para conocer los mecanismos fundamentales que intervienen en el proceso de la absorción óptica (Banda a banda y Cargas libres). Se ha ampliado el modelo teórico de calculo del coeficiente de absorción para ajustar las medidas echas con el espectro de emisión de un LED.<br/>El equipo construido se ha empleado para monitorizar in-situ la fase de cristalización de las capas de a-SiCx:H intrínsecas y dopadas con fósforo depositadas sobre substrato de c-Si. Los resultados obtenidos se han comparando con otras medidas ópticas que involucran técnicas diferentes: SEM, X-RD, FTIR, Monocromador, que confirman los resultados encontrados.
c-Si; Absorción Cargas libres; Absorción Banda a banda; LED; equipo de medida de transmisiónóptica; Recristalización in-situ; a-SiCx:H
62 - Engineering
ADVERTIMENT. L'accés als continguts d'aquesta tesi doctoral i la seva utilització ha de respectar els drets de la persona autora. Pot ser utilitzada per a consulta o estudi personal, així com en activitats o materials d'investigació i docència en els termes establerts a l'art. 32 del Text Refós de la Llei de Propietat Intel·lectual (RDL 1/1996). Per altres utilitzacions es requereix l'autorització prèvia i expressa de la persona autora. En qualsevol cas, en la utilització dels seus continguts caldrà indicar de forma clara el nom i cognoms de la persona autora i el títol de la tesi doctoral. No s'autoritza la seva reproducció o altres formes d'explotació efectuades amb finalitats de lucre ni la seva comunicació pública des d'un lloc aliè al servei TDX. Tampoc s'autoritza la presentació del seu contingut en una finestra o marc aliè a TDX (framing). Aquesta reserva de drets afecta tant als continguts de la tesi com als seus resums i índexs.
