Plasma de silà amb confinament electrostàtic per a la obtenció de silici amorf hidrogenat 

Andreu i Batallé, Jordi (Data de defensa: 1986-09-01)

El silici amorf hidrogenat (a-Si:H) s’ha convertit en el material semiconductor en capa prima més estudiat en els últims anys. Aquest esforç investigador està en gran part motivat pel gran nombre d’aplicacions industrial, ...